标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 44928-2024
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- L90
- 国际标准分类号（ICS）
- 31.030
- 发布日期
- 2024-12-31
- 实施日期
- 2024-12-31
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
推荐性国家标准现行
GB/T 44928-2024
微电子学微光刻技术术语
Terms of microlithography technology for microelectronics
发布：2024-12-31实施：2024-12-31
官方来源声明
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