标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 14142-1993
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 废止
- 中国标准分类号（CCS）
- H26
- 国际标准分类号（ICS）
- —
- 发布日期
- 1993-02-06
- 实施日期
- 1993-10-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 国家技术监督局
备注
1993-10-01实施
推荐性国家标准废止采用国际标准
GB/T 14142-1993
硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques
发布：1993-02-06实施：1993-10-01
官方来源声明
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