标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 43894.3-2026
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 即将实施
- 中国标准分类号（CCS）
- H21
- 国际标准分类号（ICS）
- 77.040
- 发布日期
- 2026-07-02
- 实施日期
- 2027-02-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
推荐性国家标准即将实施
GB/T 43894.3-2026
半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分：扇形区域平整度法（ESFQR、ESFQD、ESBIR）
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 3:Sector area flatness(ESFQR，ESFQD，ESBIR）
发布：2026-07-02实施：2027-02-01
官方来源声明
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