标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 32999-2016
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- G04
- 国际标准分类号（ICS）
- 71.040.40
- 发布日期
- 2016-10-13
- 实施日期
- 2017-09-01
- 主管部门
- 中国科学院
- 归口部门
- 中国科学院
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
推荐性国家标准现行采用国际标准
GB/T 32999-2016
表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
发布：2016-10-13实施：2017-09-01
官方来源声明
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