标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 19922-2005
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- H17
- 国际标准分类号（ICS）
- 77.040.01
- 发布日期
- 2005-09-19
- 实施日期
- 2006-04-01
- 主管部门
- 工业和信息化部（电子）
- 归口部门
- 工业和信息化部（电子）
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2006-04-01实施
推荐性国家标准现行
GB/T 19922-2005
硅片局部平整度非接触式标准测试方法
Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
发布：2005-09-19实施：2006-04-01
官方来源声明
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