标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 25188-2010
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- G04
- 国际标准分类号（ICS）
- 71.040.40
- 发布日期
- 2010-09-26
- 实施日期
- 2011-08-01
- 主管部门
- 中国科学院
- 归口部门
- 中国科学院
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2011-08-01实施
推荐性国家标准现行
GB/T 25188-2010
硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法
Thickness measurements for ultrathin silicon oxide layers on silicon wafers X-ray photoelectron spectroscopy
发布：2010-09-26实施：2011-08-01
官方来源声明
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