标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 5226.33-2017
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- J09
- 国际标准分类号（ICS）
- 29.020
- 发布日期
- 2017-10-14
- 实施日期
- 2018-05-01
- 主管部门
- 中国机械工业联合会
- 归口部门
- 中国机械工业联合会
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
推荐性国家标准现行采用国际标准
GB/T 5226.33-2017
机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
发布：2017-10-14实施：2018-05-01
官方来源声明
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