标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 29056-2025
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- H17
- 国际标准分类号（ICS）
- 77.040
- 发布日期
- 2025-10-31
- 实施日期
- 2026-05-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
推荐性国家标准现行
GB/T 29056-2025
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry
发布：2025-10-31实施：2026-05-01
官方来源声明
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