标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 6616-2023
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- H21
- 国际标准分类号（ICS）
- 77.040
- 发布日期
- 2023-08-06
- 实施日期
- 2024-03-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
推荐性国家标准现行
GB/T 6616-2023
半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge
发布：2023-08-06实施：2024-03-01
官方来源声明
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