标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 40110-2021
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- G04
- 国际标准分类号（ICS）
- 71.040.40
- 发布日期
- 2021-05-21
- 实施日期
- 2021-12-01
- 主管部门
- 中国科学院
- 归口部门
- 中国科学院
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
推荐性国家标准现行采用国际标准
GB/T 40110-2021
表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
发布：2021-05-21实施：2021-12-01
官方来源声明
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