标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 29056-2012
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 废止
- 中国标准分类号（CCS）
- L90
- 国际标准分类号（ICS）
- 31-030
- 发布日期
- 2012-12-31
- 实施日期
- 2013-10-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2012年第41号公告
推荐性国家标准废止
GB/T 29056-2012
硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Trichlorosilane for silicon epitaxy - Determination of boron，aluminium，phosphorus，vanadium，chrome，manganese，iron，cobalt，nickel，copper，molybdenum，arsenic and antimony content - Inductively coupled plasma mass spectrometric method
发布：2012-12-31实施：2013-10-01
官方来源声明
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