标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 6616-2009
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 废止
- 中国标准分类号（CCS）
- H80
- 国际标准分类号（ICS）
- 29.045
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-06-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2010-06-01实施,代替GB/T 6616-1995
推荐性国家标准废止采用国际标准
GB/T 6616-2009
半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge
发布：2009-10-30实施：2010-06-01
官方来源声明
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