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推荐性国家标准现行

GB/T 34898-2017

微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

发布:2017-11-01实施:2018-05-01
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