标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 42158-2023
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- L59
- 国际标准分类号（ICS）
- 31.080.99
- 发布日期
- 2023-03-17
- 实施日期
- 2023-07-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
推荐性国家标准现行采用国际标准
GB/T 42158-2023
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
发布：2023-03-17实施：2023-07-01
官方来源声明
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