标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 29507-2013
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- H80
- 国际标准分类号（ICS）
- 29.045
- 发布日期
- 2013-05-09
- 实施日期
- 2014-02-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2013年第6号公告
推荐性国家标准现行
GB/T 29507-2013
硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning
发布：2013-05-09实施：2014-02-01
官方来源声明
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