标准详细信息
以下字段已从官方标准详情页完成核验；空白字段以官方页面最新信息为准。
- 标准号
- GB/T 17866-1999
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- L56
- 国际标准分类号（ICS）
- 31.200
- 发布日期
- 1999-09-13
- 实施日期
- 2000-06-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 国家质量技术监督局
备注
2000-06-01实施
推荐性国家标准现行采用国际标准
GB/T 17866-1999
掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems
发布：1999-09-13实施：2000-06-01
官方来源声明
标准号、名称、状态、日期、ICS/CCS 及部门信息来自国家标准全文公开系统。本站未复制官方品牌页面，也未下载标准文本。
核对官方最新信息