标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 34894-2017
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- L55
- 国际标准分类号（ICS）
- 31.200
- 发布日期
- 2017-11-01
- 实施日期
- 2018-05-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
推荐性国家标准现行
GB/T 34894-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
发布：2017-11-01实施：2018-05-01
官方来源声明
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