标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 30652-2014
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 废止
- 中国标准分类号（CCS）
- H83
- 国际标准分类号（ICS）
- 29.045
- 发布日期
- 2014-12-31
- 实施日期
- 2015-09-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
推荐性国家标准废止
GB/T 30652-2014
硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilane for silicon epitaxial
发布：2014-12-31实施：2015-09-01
官方来源声明
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