微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films

发布：2024-09-29实施：2025-04-01

STANDARD INFORMATION

标准详细信息

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标准号: GB/T 44517-2024
标准类型: 推荐性国家标准
标准状态: 现行
中国标准分类号（CCS）: L59
国际标准分类号（ICS）: 31.080.99
发布日期: 2024-09-29
实施日期: 2025-04-01
主管部门: 国家标准委
归口部门: 国家标准委
发布单位: 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

官方来源声明

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