标准详细信息
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- 标准号
- GB/T 16878-1997
- 标准类型
- 推荐性国家标准
- 标准状态
- 现行
- 中国标准分类号（CCS）
- L97
- 国际标准分类号（ICS）
- 31.200
- 发布日期
- 1997-06-20
- 实施日期
- 1998-03-01
- 主管部门
- 国家标准委
- 归口部门
- 国家标准委
- 发布单位
- 国家技术监督局
推荐性国家标准现行采用国际标准
GB/T 16878-1997
用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
发布：1997-06-20实施：1998-03-01
官方来源声明
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