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推荐性国家标准现行

GB/T 42896-2023

微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

发布:2023-08-06实施:2023-12-01
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