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推荐性国家标准现行

GB/T 38614-2020

基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

发布:2020-04-28实施:2020-11-01
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