推荐性国家标准现行
GB/T 38616-2020
纳米定位与扫描平台术语
Terminology for nano positioning and scaning stage
- 实施日期
- 2020-11-01
- ICS 分类
- 01.040.39
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精密机械、珠宝（词汇）
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推荐性国家标准现行
GB/T 38614-2020
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
- 实施日期
- 2020-11-01
- ICS 分类
- 01.040.39