推荐性国家标准现行
GB/T 26066-2010
硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
practice for shallow etch pit detection on silicon
- 实施日期
- 2011-10-01
- ICS 分类
- 29.045
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半导体材料
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推荐性国家标准废止
GB/T 14847-2010
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
- 实施日期
- 2011-10-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准废止
GB/T 25076-2010
太阳电池用硅单晶
Monocrystalline silicon of solar cell
- 实施日期
- 2011-04-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准废止
GB/T 25075-2010
太阳能电池用砷化镓单晶
Gallium arsenide single crystal for solar cell
- 实施日期
- 2011-04-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准废止
GB/T 25074-2010
太阳能级多晶硅
Solar-grade polycrystalline silicon
- 实施日期
- 2011-04-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准废止
GB/T 14139-2009
硅外延片
Silicon epitaxial wafers
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行
GB/T 11072-2009
锑化铟多晶、单晶及切割片
Indium antimonide polycrystal,single crystals and as-cut slices
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准废止采标
GB/T 6616-2009
半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 6619-2009
硅片弯曲度测试方法
Test methods for bow of silicon wafers
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 6620-2009
硅片翘曲度非接触式测试方法
Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准废止采标
GB/T 24581-2009
低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
Test method for low temperature FT-IR analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 24580-2009
重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 24579-2009
酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物
Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 24577-2009
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 24576-2009
高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
Test method for measuring the Al fraction in AlGaAs on GaAs substrates by high resolution X-ray diffraction
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 24575-2009
硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 24574-2009
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准废止采标
GB/T 1558-2009
硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准废止采标
GB/T 1551-2009
硅单晶电阻率测定方法
Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045
推荐性国家标准现行采标
GB/T 14144-2009
硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
- 实施日期
- 2010-06-01
- ICS 分类
- 29.045